SHARE Vol. 45 No. 3 (2008) 自動車関連技術小特集/工作機械小特集 製品紹介 多岐にわたる応用を可能とする常温ウェーハ接合装置Wafer Bonder Applicable to Various Devices 和文 (386KB) 英文 (299KB) 工作機械事業部 営業 近年,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を中心にウェーハレベルパッケージングのニーズが高まっている.本装置は,常温でウェーハを接合する,産業レベルで使用可能な唯一の装置であり,その高品質な接合特性により MEMS 分野を始め,各種デバイスの製造に活用が始まっている. 三菱重工技報 Technical Review Vol. 62 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 62 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 61 No. 4 原子力特集 Vol. 61 No. 3 マテリアリティ特集 - 三菱重工グループが考える重要課題に対する取組み - Vol. 61 No. 2 プラント·インフラドメイン特集 Vol. 61 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 60 No. 4 サービス技術特集 Vol. 60 No. 3 エナジードメイン特集 Vol. 60 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 60 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 59 No. 4 カーボンニュートラル特集 Vol. 59 No. 3 デジタルイノベーション特集 Vol. 59 No. 2 プラント·インフラ特集 Vol. 59 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 58 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 58 No. 3 三菱パワー特集 Vol. 58 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 58 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 57 No. 4 原子力特集 Vol. 57 No. 3 工作機械特集 Vol. 57 No. 2 インダストリー＆社会基盤特集 Vol. 57 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 56 No. 4 冷熱特集 Vol. 56 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 56 No. 2 M-FET特集 Vol. 56 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 55 No. 4 パワードメイン 新事業特集 Vol. 55 No. 3 インダストリー＆社会基盤ドメイン特集 Vol. 55 No. 2 新技術特集 Vol. 55 No. 1 環境特集 Vol. 54 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 54 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 54 No. 2 冷熱特集 Vol. 54 No. 1 M-FET特集 Vol. 53 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 53 No. 3 交通·輸送特集 Vol. 53 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 53 No. 1 機械·設備システム特集 Vol. 52 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 52 No. 3 工作機械特集 Vol. 52 No. 2 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 52 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 51 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 51 No. 3 機械·設備システム特集 Vol. 51 No. 2 冷熱特集 Vol. 51 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 50 No. 4 都市交通を支える技術特集 Vol. 50 No. 3 発電技術特集 Vol. 50 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 50 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 49 No. 4 三菱重工の総合力特集 Vol. 49 No. 3 工作機械特集 Vol. 49 No. 2 交通·物流/自動車特集 Vol. 49 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 48 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 48 No. 3 発電技術特集 Vol. 48 No. 2 冷熱特集 Vol. 48 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 47 No. 4 自動車関連技術特集 Vol. 47 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 47 No. 2 交通·物流特集 Vol. 47 No. 1 低炭素社会特集 Vol. 46 No. 4 原子力特集 Vol. 46 No. 3 ものづくりを支える機械·技術特集 Vol. 46 No. 2 発電技術特集 Vol. 46 No. 1 新製品·新技術/サービス特集 Vol. 45 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 45 No. 3 自動車関連技術小特集/工作機械小特集 Vol. 45 No. 2 冷熱特集 Vol. 45 No. 1 地球温暖化対策特集 Vol. 44 No. 4 発電技術特集 Vol. 44 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 44 No. 2 陸上輸送·物流/循環型社会を構築する環境技術小特集 Vol. 44 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 43 No. 4 原子力特集 Vol. 43 No. 3 紙印刷機械·自動車関連技術小特集 Vol. 43 No. 2 エアコン特集 Vol. 43 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 42 No. 5 航空宇宙特集 Vol. 42 No. 4 地球環境特集 Vol. 42 No. 3 発電技術特集 Vol. 42 No. 2 モノ作りを支える機械と技術特集 Vol. 42 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 41 No. 6 船舶·海洋特集 Vol. 41 No. 5 未来を拓く発電技術特集 Vol. 41 No. 4 未来を守る地球環境特集 Vol. 41 No. 3 風水力機械特集 Vol. 41 No. 2 快適な空間を提供するエアコン特集 Vol. 41 No. 1 豊かな社会に貢献する新製品·新技術特集 Vol. 40 No. 6 先進技術特集 Vol. 40 No. 5 エレクトロニクス製品特集 Vol. 40 No. 4 未来を拓く発電技術特集 Vol. 40 No. 3 人に優しい陸上交通システム特集 Vol. 40 No. 2 お客様の安心を支えるサービス特集 Vol. 40 No. 1 三菱重工の昨日·今日·あした
