SHARE Vol. 44 No. 1 (2007) 新製品·新技術特集 技術論文 半導体製造工程の大幅削減を可能とするMCR-CVD 成膜装置Metal Chloride Reduction Chemical Vapor Deposition for Advanced Metallization 和文 (390KB) 小椋 謙Yuzuru Ogura 八幡直樹Naoki Yahata 坂本仁志Hitoshi Sakamoto 小椋 謙 八幡直樹 坂本仁志 高密度塩素プラズマを用いて金属薄膜を形成する塩化金属還元気相成長(MCR-CVD：Metal ChlorideReduction Chemical Vapor Deposition)は当社が独自に開発した金属成膜法であり,半導体製造分野の次世代技術として期待されている. MCR-CVD は高密度プラズマ中の電荷を持たない塩素ラジカルを利用する成膜法であるため,低温成膜が可能で基板へのダメージを最低限に抑制することができる.また,塩素ガスと固体金属のみを原料とし,金属錯体等の特殊な原料を必要としないために,設備が単純で,ランニングコストを低減できる利点を有する.更にこうした基本特性に加え,MCR-CVD は膜組成制御の容易性や微細なホール,トレンチの底部から順次成長するボトムアップ成膜が可能であるなどの特徴を備えており,これらにより LSI 製造のコスト要因となっている複雑な工程の大幅な削減を実現する新技術である.本稿では MCR-CVD の備えるこれらの特徴を紹介する. 三菱重工技報 Technical Review Vol. 62 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 62 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 61 No. 4 原子力特集 Vol. 61 No. 3 マテリアリティ特集 - 三菱重工グループが考える重要課題に対する取組み - Vol. 61 No. 2 プラント·インフラドメイン特集 Vol. 61 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 60 No. 4 サービス技術特集 Vol. 60 No. 3 エナジードメイン特集 Vol. 60 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 60 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 59 No. 4 カーボンニュートラル特集 Vol. 59 No. 3 デジタルイノベーション特集 Vol. 59 No. 2 プラント·インフラ特集 Vol. 59 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 58 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 58 No. 3 三菱パワー特集 Vol. 58 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 58 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 57 No. 4 原子力特集 Vol. 57 No. 3 工作機械特集 Vol. 57 No. 2 インダストリー＆社会基盤特集 Vol. 57 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 56 No. 4 冷熱特集 Vol. 56 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 56 No. 2 M-FET特集 Vol. 56 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 55 No. 4 パワードメイン 新事業特集 Vol. 55 No. 3 インダストリー＆社会基盤ドメイン特集 Vol. 55 No. 2 新技術特集 Vol. 55 No. 1 環境特集 Vol. 54 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 54 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 54 No. 2 冷熱特集 Vol. 54 No. 1 M-FET特集 Vol. 53 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 53 No. 3 交通·輸送特集 Vol. 53 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 53 No. 1 機械·設備システム特集 Vol. 52 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 52 No. 3 工作機械特集 Vol. 52 No. 2 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 52 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 51 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 51 No. 3 機械·設備システム特集 Vol. 51 No. 2 冷熱特集 Vol. 51 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 50 No. 4 都市交通を支える技術特集 Vol. 50 No. 3 発電技術特集 Vol. 50 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 50 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 49 No. 4 三菱重工の総合力特集 Vol. 49 No. 3 工作機械特集 Vol. 49 No. 2 交通·物流/自動車特集 Vol. 49 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 48 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 48 No. 3 発電技術特集 Vol. 48 No. 2 冷熱特集 Vol. 48 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 47 No. 4 自動車関連技術特集 Vol. 47 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 47 No. 2 交通·物流特集 Vol. 47 No. 1 低炭素社会特集 Vol. 46 No. 4 原子力特集 Vol. 46 No. 3 ものづくりを支える機械·技術特集 Vol. 46 No. 2 発電技術特集 Vol. 46 No. 1 新製品·新技術/サービス特集 Vol. 45 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 45 No. 3 自動車関連技術小特集/工作機械小特集 Vol. 45 No. 2 冷熱特集 Vol. 45 No. 1 地球温暖化対策特集 Vol. 44 No. 4 発電技術特集 Vol. 44 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 44 No. 2 陸上輸送·物流/循環型社会を構築する環境技術小特集 Vol. 44 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 43 No. 4 原子力特集 Vol. 43 No. 3 紙印刷機械·自動車関連技術小特集 Vol. 43 No. 2 エアコン特集 Vol. 43 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 42 No. 5 航空宇宙特集 Vol. 42 No. 4 地球環境特集 Vol. 42 No. 3 発電技術特集 Vol. 42 No. 2 モノ作りを支える機械と技術特集 Vol. 42 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 41 No. 6 船舶·海洋特集 Vol. 41 No. 5 未来を拓く発電技術特集 Vol. 41 No. 4 未来を守る地球環境特集 Vol. 41 No. 3 風水力機械特集 Vol. 41 No. 2 快適な空間を提供するエアコン特集 Vol. 41 No. 1 豊かな社会に貢献する新製品·新技術特集 Vol. 40 No. 6 先進技術特集 Vol. 40 No. 5 エレクトロニクス製品特集 Vol. 40 No. 4 未来を拓く発電技術特集 Vol. 40 No. 3 人に優しい陸上交通システム特集 Vol. 40 No. 2 お客様の安心を支えるサービス特集 Vol. 40 No. 1 三菱重工の昨日·今日·あした
