Vol. 42 No. 3 (2005)   発電技術特集
特集　技術論文
微結晶タンデム太陽電池の開発

Development of a-Si/Microcrystalline-Si Tandem-type Photovoltaic Solar Cell
山内康弘
Yasuhiro Yamauchi
高塚　汎
Hiromu Takatsuka
川村啓介
Keisuke Kawamura
山下信樹
Nobuki Yamashita
深川雅幸
Masayuki Fukagawa
竹内良昭
Yoshiaki Takeuchi
山内康弘
高塚　汎
川村啓介
山下信樹
深川雅幸
竹内良昭
当社では,クリーンエネルギー源の開発·実用化の一環として,薄膜型太陽光発電の開発を行ってきた.当社は,低コスト化のために超高周波(VHF)を用いた大面積高速製膜プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition ; 化学的気相堆積法)の技術開発に取り組んできた.その成果として発電効率8％の世界最大サイズのアモルファスSi太陽電池(1.4m×1.1m)を既に実用化し,主に海外市場で販売を行っている.この技術を基に,国内市場を狙った高効率型の発電効率12％のアモルファスSi／微結晶Siタンデム型薄膜型太陽電池を開発中である.基礎試験にて,小面積セル(32mm2)で初期発電効率13.1％(安定化発電効率12％)を,中面積モジュール(50cm×40cm)で変換効率11％を達成しており,上記VHFプラズマ技術と組み合わせて実用サイズ１m角以上の大面積基板で発電効率12％を目指した開発を実施中である.(写真は微結晶タンデム太陽電池の断面透過電子顕微鏡写真)

三菱重工技報