Vol. 40 No. 6 (2003)   先進技術特集
特集　技術論文
高経済性太陽電池を構成する先進技術

High Technology Achieving Photovoltaic Solar Cell with High Cost-Performance
米倉義道
Yoshimichi Yonekura
山下信樹
Nobuki Yamashita
中野要治
Youji Nakano
竹内良昭
Yoshiaki Takeuchi
野田松平
Matsuhei Noda
山内康弘
Yasuhiro Yamauchi
米倉義道
山下信樹
中野要治
竹内良昭
野田松平
山内康弘
当社では各種クリーンエネルギー開発の一環として薄膜型太陽電池の開発を推進している.そのキー技術として超高周波を用いた高速大面積プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition：化学的気相堆積法)技術を開発し,世界最大のa-Si太陽電池(1.4 m×1.1 m)を製品化した.この技術を基に,高経済性を更に追求した次世代製品として発電効率12％のa-Si／微結晶Siタンデム構造薄膜型太陽電池を開発している.高性能,高生産性を両立する技術開発の結果,小面積セル(32 mm2)で初期発電効率13.1 ％,大面積モジュールで安定化発電効率9.8 ％をそれぞれ達成した.