Vol. 40 No. 5 (2003)   エレクトロニクス製品特集
特集　技術論文
三菱クリーンルーム用ロボット―プラント検査からクリーン搬送まで―

MITSUBISHI CLEAN ROOM ROBOT Clean Material Handling Originated from Plant Equipment Inspection
樋口　優
Masaru Higuchi
川村武也
Takeya Kawamura
貝漕高明
Takaaki Kaikogu
村田直史
Tadashi Murata
川口正隆
Masataka Kawaguchi
樋口　優
川村武也
貝漕高明
村田直史
川口正隆
半導体デバイス及び液晶ディスプレイ工場においては,生産原材料であるシリコンウェハ及びガラス基板の急速な大型化が進んでおり,それらを工場内で搬送するロボットの大型化·高機能化が一つの技術課題となっている.当社では従来,プラント検査用等の特殊作業ロボット及び一般研究·産業向けの可搬式汎用知能アーム(PA10)等を手がけてきたが,このような半導体／液晶メーカのニーズに対応して新たにクリーンルーム用ロボットを開発,市場へ投入した.本論文では,当社ロボット技術の背景と新たに開発した半導体／液晶搬送用クリーンルーム用ロボットについて紹介する.