SHARE Vol. 40 No. 5 (2003) エレクトロニクス製品特集 特集 技術論文 三菱クリーンルーム用ロボット―プラント検査からクリーン搬送まで―MITSUBISHI CLEAN ROOM ROBOT Clean Material Handling Originated from Plant Equipment Inspection 和文 (712KB) 英文 (224KB) 樋口 優Masaru Higuchi 川村武也Takeya Kawamura 貝漕高明Takaaki Kaikogu 村田直史Tadashi Murata 川口正隆Masataka Kawaguchi 樋口 優 川村武也 貝漕高明 村田直史 川口正隆 半導体デバイス及び液晶ディスプレイ工場においては,生産原材料であるシリコンウェハ及びガラス基板の急速な大型化が進んでおり,それらを工場内で搬送するロボットの大型化·高機能化が一つの技術課題となっている.当社では従来,プラント検査用等の特殊作業ロボット及び一般研究·産業向けの可搬式汎用知能アーム(PA10)等を手がけてきたが,このような半導体／液晶メーカのニーズに対応して新たにクリーンルーム用ロボットを開発,市場へ投入した.本論文では,当社ロボット技術の背景と新たに開発した半導体／液晶搬送用クリーンルーム用ロボットについて紹介する. 三菱重工技報 Technical Review Vol. 62 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 62 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 61 No. 4 原子力特集 Vol. 61 No. 3 マテリアリティ特集 - 三菱重工グループが考える重要課題に対する取組み - Vol. 61 No. 2 プラント·インフラドメイン特集 Vol. 61 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 60 No. 4 サービス技術特集 Vol. 60 No. 3 エナジードメイン特集 Vol. 60 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 60 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 59 No. 4 カーボンニュートラル特集 Vol. 59 No. 3 デジタルイノベーション特集 Vol. 59 No. 2 プラント·インフラ特集 Vol. 59 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 58 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 58 No. 3 三菱パワー特集 Vol. 58 No. 2 物流·冷熱·ドライブシステムドメイン特集 Vol. 58 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 57 No. 4 原子力特集 Vol. 57 No. 3 工作機械特集 Vol. 57 No. 2 インダストリー＆社会基盤特集 Vol. 57 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 56 No. 4 冷熱特集 Vol. 56 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 56 No. 2 M-FET特集 Vol. 56 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 55 No. 4 パワードメイン 新事業特集 Vol. 55 No. 3 インダストリー＆社会基盤ドメイン特集 Vol. 55 No. 2 新技術特集 Vol. 55 No. 1 環境特集 Vol. 54 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 54 No. 3 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 54 No. 2 冷熱特集 Vol. 54 No. 1 M-FET特集 Vol. 53 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 53 No. 3 交通·輸送特集 Vol. 53 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 53 No. 1 機械·設備システム特集 Vol. 52 No. 4 新製品·新技術特集 Vol. 52 No. 3 工作機械特集 Vol. 52 No. 2 三菱日立パワーシステムズ特集 Vol. 52 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 51 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 51 No. 3 機械·設備システム特集 Vol. 51 No. 2 冷熱特集 Vol. 51 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 50 No. 4 都市交通を支える技術特集 Vol. 50 No. 3 発電技術特集 Vol. 50 No. 2 船舶·海洋特集 Vol. 50 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 49 No. 4 三菱重工の総合力特集 Vol. 49 No. 3 工作機械特集 Vol. 49 No. 2 交通·物流/自動車特集 Vol. 49 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 48 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 48 No. 3 発電技術特集 Vol. 48 No. 2 冷熱特集 Vol. 48 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 47 No. 4 自動車関連技術特集 Vol. 47 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 47 No. 2 交通·物流特集 Vol. 47 No. 1 低炭素社会特集 Vol. 46 No. 4 原子力特集 Vol. 46 No. 3 ものづくりを支える機械·技術特集 Vol. 46 No. 2 発電技術特集 Vol. 46 No. 1 新製品·新技術/サービス特集 Vol. 45 No. 4 航空宇宙特集 Vol. 45 No. 3 自動車関連技術小特集/工作機械小特集 Vol. 45 No. 2 冷熱特集 Vol. 45 No. 1 地球温暖化対策特集 Vol. 44 No. 4 発電技術特集 Vol. 44 No. 3 船舶·海洋特集 Vol. 44 No. 2 陸上輸送·物流/循環型社会を構築する環境技術小特集 Vol. 44 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 43 No. 4 原子力特集 Vol. 43 No. 3 紙印刷機械·自動車関連技術小特集 Vol. 43 No. 2 エアコン特集 Vol. 43 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 42 No. 5 航空宇宙特集 Vol. 42 No. 4 地球環境特集 Vol. 42 No. 3 発電技術特集 Vol. 42 No. 2 モノ作りを支える機械と技術特集 Vol. 42 No. 1 新製品·新技術特集 Vol. 41 No. 6 船舶·海洋特集 Vol. 41 No. 5 未来を拓く発電技術特集 Vol. 41 No. 4 未来を守る地球環境特集 Vol. 41 No. 3 風水力機械特集 Vol. 41 No. 2 快適な空間を提供するエアコン特集 Vol. 41 No. 1 豊かな社会に貢献する新製品·新技術特集 Vol. 40 No. 6 先進技術特集 Vol. 40 No. 5 エレクトロニクス製品特集 Vol. 40 No. 4 未来を拓く発電技術特集 Vol. 40 No. 3 人に優しい陸上交通システム特集 Vol. 40 No. 2 お客様の安心を支えるサービス特集 Vol. 40 No. 1 三菱重工の昨日·今日·あした
