Vol. 63 No. 4 (2026)   オープンイノベーション特集
技術論文
 
量子センサによる金属中の微小欠陥検出技術の開発

Development of a Technique for Detecting Microscopic Defects in Metals Using Quantum Sensors
真島浩
Hiroshi Mashima
齊藤鷹規
Takatada Saito
後藤征司
Seiji Goto
小場瑛介
Eisuke Oba
木村詠吉
Eikichi Kimura
荒井慧悟
Keigo Arai
真島浩
齊藤鷹規
後藤征司
小場瑛介
木村詠吉
荒井慧悟
産業インフラ製品の高信頼性が求められる中,構造物の金属中に存在する微小欠陥(数10μmクラス)の検出ニーズが高まっている。量子センサの一種であるNVセンタを用いて,金属中の微小欠陥検出技術の開発を行った。NVセンタの一機能である磁場センサとしての高い空間分解能と感度を活かし,数10μmクラスの欠陥検出を実現した。対象が銅(非磁性体)では最小38μmの欠陥検出に成功したが,鉄(磁性体)では磁場分布の歪みにより欠陥検出精度確保に向け課題は残った。今後,磁場検出感度向上と欠陥解析モデルの改善を進め,実用的な欠陥検出技術の確立を目指す。

三菱重工技報