Vol. 57 No. 3 (2020)   工作機械特集
製品紹介
産業機械向け超薄型リニアMPFAスケール

Ultra-thin Linear MPFA Scale for Industrial Machinery
三菱重工工作機械株式会社
カスタマーサポートセンター
営業本部
営業戦略業務部 微細加工システムグ
ループ MP スケールチーム
近年,産業用の搬送装置や移動ロボット,半導体·液晶製造装置,食品機械など,さまざまな分野の直線駆動機構で,より高速·高精度な制御が求められており,従来のサーボモータとボールねじ駆動にかわって,リニアモータと精密位置検出器を採用した装置が増えている。三菱重工工作機械(株)は,これまで主に工作機械向けに,過酷な環境に強い高速·高精度スケールである"MP(Mitsubishi Precision)スケール"を販売してきたが,より幅広いお客様にご利用頂けるよう,リニアモータの位置検出に最適なスケールを開発した。本報ではその成果である産業機械向け超薄型リニアMPFA(Mitsubishi Precision Factory Automation)スケールを紹介する。