Vol. 52 No. 4 (2015)   新製品·新技術特集
技術論文
高温耐熱性を有したフレキシブル薄膜超音波センサ技術

The Technique of High Temperature Thin-film Ultrasonic Sensor
山本裕子
Yuko Yamamoto
川浪精一
Seiichi Kawanami
川瀬直人
Naoto Kawase
小平武志
Takeshi Kodaira
山本裕子
川浪精一
川瀬直人
小平武志
薄くて柔軟性があり,高温でも使用可能な薄膜超音波探傷(UT：Ultrasonic Testing)センサを開発した。薄膜UTセンサは,プラントの配管や容器の厚さ測定において,従来型UTセンサの代替や運転中の連続モニタリングといった用途に適用可能である。本稿では,開発した薄膜UTセンサの特徴や性能,適用範囲を拡大するための応用研究,実機工事への展開について述べる。