Vol. 52 No. 3 (2015)   工作機械特集
技術論文

微細レーザ加工機"ABLASER"を適用した微細穴加工技術の開発

Microdrilling Technology Using Ultrashort Pulsed-laser

中川清隆
Kiyotaka Nakagawa
山下貢丸
Tsugumaru Yamashita
藤田善仁
Yoshihito Fujita
二井谷春彦
Haruhiko Niitani
中川清隆
山下貢丸
藤田善仁
二井谷春彦

近年レーザ加工は,機械加工や放電加工の代替技術として期待されている。その理由として,非接触加工のため工具摩耗がなく,金属材料に限らず非導電性の硬脆材料から樹脂に至るまで幅広い材種に適用可能なことが挙げられる。短パルスレーザ加工は,より微細で高品質な加工面が得られるため,様々な産業分野や部品加工への適用ニーズが高い。しかし,能率と品質の両立が難しく,広く普及する上での課題となっている。そこで当社では,短パルスレーザにおける加工方法の違いにより加工能力に優位差があることを明らかにし,これを適用した微細穴加工の事例を報告する。