Vol. 52 No. 1 (2015)   新製品·新技術特集
技術論文
プリズムローテータを用いた高速高品質レーザ穴あけ加工技術の研究

High Speed & Quality Laser Drilling Technology by Using Prism Rotator
呉屋真之
Saneyuki Goya
渡辺俊哉
Toshiya Watanabe
山口純平
Junpei Yamaguchi
山下貢丸
Tsugumaru Yamashita
鈴木竜
Ryu Suzuki
呉屋真之
渡辺俊哉
山口純平
山下貢丸
鈴木竜
従来のレーザ穴あけ加工方法は、加工用レーザヘッド、もしくは加工ステージを機械的に回転させることにより加工を行うため、質量や剛性の制限を受けるこれら構造物の加減速が律速となり、加工速度の向上には限界があった。また、加工速度に限界があることにより、加工品質に関わるレーザによる熱影響の抑制にも限界があった。以上の課題に対し、レーザヘッドや加工ステージなどの構造物に比べて、わずかな質量で構成されるレーザ光学系を高速で回転させることにより、従来のレーザ加工に対し同等以上の加工品質を保持しつつ、大幅な加工速度の向上を実現した。