第26回 ファインテック ジャパン～フラットパネル ディスプレイ 技術展～

概要

三菱重工工作機械は、以下の2製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。

（1）レーザーソリューション

• 微細レーザ加工機 ABLASER
  熱影響の少ない短パルスレーザーによるアブレーション加工で、極めて高品質な穴加工や溝加工を実現します。
• レーザー溶接技術
  ハイブリッド溶接を始め、各種のレーザー加工ソリューションを展示します。

（2）常温ウェーハ接合装置 BOND MEISTER

室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できます。