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ナノ・マイクロ ビジネス展

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ナノ・マイクロビジネス展

nanomicro biz
2015年4月22日~4月24日
パシフィコ横浜 展示ホールB/一般財団法人マイクロマシンセンター

概要

常温ウェーハ接合装置 BOND MEISTER

常温接合は、「完全な室温プロセスで強固な接合が可能」、「酸化膜などを介さない完全な直接接合」、「シリコン系材料、光学材料、化合物半導体、金属等多岐にわたる材料が接合可能」、等が特徴です。本展示会では、各種の接合サンプルを展示していますが、特に10マイクロメートルの薄化300ミリメートルウェーハの接合サンプルが見ものです。

微細レーザー加工機 ABLASER

ABLASERは、三菱重工の先端製品で培ったレーザ加工技術と工作機械の位置決め技術を組み合わせた高精度・高能率なレーザ加工機です。本展示会では機械加工で困難なセラミック材やシリコンウェーハの加工サンプルを展示しますが、特にシリコンウェーハ加工穴の熱影響が少なくシャープなエッジ品質に注目下さい。

日時 2015年4月22日(水曜日)~4月24日(金曜日)
会場 横浜市パシフィコ横浜ブース番号 B-11
地図はこちら
入場料 2,000円(税込)
(注)WEBからの来場事前登録者および招待状持参者は無料
展覧会の
公式ウェブサイト
ナノ・マイクロ ビジネス展 公式ウェブサイト

出展

  • 三菱重工業株式会社

出展製品