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常温ウェーハ接合装置
工作機械事業部で本格生産体制整う

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常温ウェーハ接合装置

※1 常温接合=

加熱することなく、シリコンなどの原子同士を室温で接合させる技術で、ひずみのない、信頼性の高い強固な結合をつくり出すことができるのが特徴。通常、これらの材料の表面は酸化物や汚れで覆われているが、真空中でアルゴンなどの原子ビームを照射し、表面の不純物を除去すると、清浄化され活性化された材料表面の原子それぞれに“結合の手”が現れる。この結合の手が現れた材料の表面に、同じように活性化して結合の手が出たもう一つの材料を押し当てると、双方の手が結び合って一つの物質のように強く結合することを常温接合という。その接合の強さは母材並みといわれる。
   
※2 MEMS= Micro Electro Mechanical Systemsの略。IC製造プロセスを基盤とした微細加工(マイクロマシニング)技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、制御回路などを集積化した微細システムのこと。自動車のエアバッグ用加速度センサやプリンタのインクジェットヘッドなどがMEMSの代表例。

Tags: 産業機械,アジア,I&Iドメイン